- Main
- Engineering
- Technique - Experiments, Instruments & Measurements
- EUV Sources for Lithography (SPIE Press...
EUV Sources for Lithography (SPIE Press Monograph Vol. PM149)
Vivek Bakshi (Editor)Quanto ti piace questo libro?
Qual è la qualità del file?
Scarica il libro per la valutazione della qualità
Qual è la qualità dei file scaricati?
This comprehensive volume, edited by a senior technical staff member at SEMATECH, is the authoritative reference book on EUV source technology. The volume contains 38 chapters contributed by leading researchers and suppliers in the EUV source field. Topics range from a state-of-the-art overview and in-depth explanation of EUV source requirements, to fundamental atomic data and theoretical models of EUV sources based on discharge-produced plasmas (DPPs) and laser-produced plasmas (LPPs), to a description of prominent DPP and LPP designs and other technologies for producing EUV radiation. Additional topics include EUV source metrology and components (collectors, electrodes), debris mitigation, and mechanisms of component erosion in EUV sources. The volume is intended to meet the needs of both practitioners of the technology and readers seeking an introduction to the subject. Contents - Preface - Introduction - List of Contributors - List of Abbreviations - Introduction and Technology Review - Fundamentals and Modeling - Plasma Pinch Sources - Laser-Produced Plasma (LPP) Sources - EUV Source Metrology - Other Types of EUV Sources - EUV Source Components - Index
Anno:
2006
Casa editrice:
SPIE Publications
Lingua:
english
Pagine:
1094
ISBN 10:
0819458457
ISBN 13:
9780819458452
Collana:
SPIE Press Monographs
File:
PDF, 32.28 MB
I tuoi tag:
IPFS:
CID , CID Blake2b
english, 2006
Leggi Online
- Scaricare
- pdf 32.28 MB Current page
- Checking other formats...
- Convertire a
- Sbloccare file di conversione di dimensioni maggiori di 8 MB Premium
Il file verrà inviato al tuo indirizzo email. Ci vogliono fino a 1-5 minuti prima di riceverlo.
Entro 1-5 minuti il file verrà consegnato al tuo account Telegram.
Attenzione: assicurati di aver collegato il tuo account al bot Z-Library Telegram.
Entro 1-5 minuti il file verrà consegnato al tuo dispositivo Kindle.
Nota: devi verificare ogni libro che desideri inviare al tuo Kindle. Controlla la tua casella di posta per l'e-mail di verifica da Amazon Kindle Support.
La conversione in è in corso
La conversione in non è riuscita
Vantaggi dello status Premium
- Inviare a lettori di e-book
- Limite aumentato di download
- Converti i file
- Più risultati di ricerca
- Altri vantaggi